Các mâm ESC của công ty kết hợp gốm sứ chịu lạnh với bộ gia nhiệt và kênh làm mát tích hợp để giữ cho bề mặt wafer ở nhiệt độ đồng nhất cao, ngay cả khi tiếp xúc với plasma cường độ cao, điện áp cao và điều kiện chân không. Sự kết hợp đó cho phép các nhà cung cấp thiết bị đáp ứng các thông số kỹ thuật về độ đồng nhất nghiêm ngặt khi các nhà sản xuất NAND đẩy độ sâu của các kênh và mật độ cell NAND lưu trữ dữ liệu lên cao hơn bao giờ hết.

Sự thay đổi có vẻ đột ngột từ bên ngoài, nhưng Toto đã dành hàng thập kỷ để xây dựng chuyên môn về gốm sứ hiệu suất cao. Ban đầu những nghiên cứu này dành cho các sản phẩm vệ sinh và ứng dụng công nghiệp, và sau đó là cho các linh kiện chính xác.

Dần dần, những nghiên cứu ấy đã mở rộng thành một danh mục sản phẩm vượt xa các thiết bị phòng tắm để bao gồm ổ trục khí, mao quản liên kết, và các bộ phận cấu trúc cho thiết bị sản xuất bán dẫn, với yêu cầu phải chịu được ứng suất nhiệt và dung sai cơ học cực thấp.

Mâm sứ tĩnh điện đã là một phần trong danh mục sản phẩm kinh doanh của công ty từ những năm 1980, nhưng chỉ trong những năm gần đây, chúng mới trở thành những yếu tố đóng góp đáng kể vào lợi nhuận khi nhu cầu sản xuất bộ nhớ và logic tiên tiến tăng nhanh.

Sự phát triển đó đã định hình lại cơ cấu lợi nhuận của công ty. Phân khúc gốm sứ tiên tiến của Toto hiện chiếm khoảng 40% lợi nhuận kinh doanh, và các tài liệu gần đây từ cả các nhà hoạt động và công ty cho thấy đóng góp của nó có thể đã tăng lên hơn một nửa tổng doanh thu.